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測定業務
定業務
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風速測定
ＨＥＰＡ吹出し口の風速･風量測定風景
マグネット付脱着可の帯電防止カーテンを使用 |
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風速測定
ＨＥＰＡ吹出し口の風速･風量測定風景
マグネット付脱着可の帯電防止カーテンを使用
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風速測定
ＨＥＰＡフィルター直下の風速測定 |
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風速測定
リオン製の微風速計 ＡＭ-11 |
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リーク測定
ＨＥＰＡフィルター漏洩試験 フィルター取付部と濾材部を専用プローブにて
５ｃｍ/ｓｅｃの速度で走査する
連続カウントのないことを確認する |
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測定器 |
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各種測定器 |
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ロイコ社製 ５２３０型
0.3μmより任意の粒径に設定可
吸引量 1CF/min |
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ロイコ社製 ５３００型
0.5μm以上６レンジの粒径を表示
吸引量 1CF/min |
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ロイコ社製
ポータブル型
0.３μm以上４レンジの粒径を表示
上流濃度及びダーティエリアの測定に適する
吸引量
０．２CF/min |
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微風速計
リオン㈱製
AM-11
クリーンブース・吹き出し口等の風速、風量の測定 |
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ＰＡＯ発生装置
HEPAフィルターの上流側にＰＡＯを発生させる
濃度個数を常に確認しながらの漏洩試験を行う |
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