《クリーンルーム規格キカク》
	209D			209E			JIS B 9920		ISO 14644-1
	米国ベイコク連邦レンポウ規格キカク　　0.5μ						0.1μ
							1		ISO 1
							2		ISO 2
				M1
	1			M1.5			3		ISO 3
				M2
	10			M2.5			4		ISO 4
				M3
	100			M3.5			5		ISO 5
				M4
	1,000			M4.5			6		ISO 6
				M5
	10,000			M5.5			7		ISO 7
				M6
	100,000			M6.5			8		ISO 8
				M7
	個数コスウ/ft3			個数コスウ/m3				個数/m3
	1ft=12inch≒0.3048m			1m3中ナカの0.5μ以上マイクロイジョウの粒子リュウシ			0.1μ以上イジョウの粒子リュウシ数スウに対タイして10のべき
		≒28.3ℓ		数スウを10のべき数スウで定義テイギ。			数スウで定義テイギ。
		35.3ｆｔ3≒1m3		クラス100-100個コ/fｔ3			102 　　　クラス2
				100個コ/ft3≒3530個コ/m3			103 　　　クラス3
				≒103.548
				≒M3.5
							ＵＳ Ｆｅｄｅｒａｌ ｓｔａｎｄａｒｄ　(米国ベイコク連邦レンポウ規格キカク）
クラス表示ヒョウジ		上ウエ　限キリ　粒ツブ　子コ　数スウ
209D	209E	0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5.0μm
		個コ/ft3	個コ/m3	個コ/ft3	個コ/m3	個コ/ft3	個コ/m3	個コ/ft3	個コ/m3	個コ/ft3	個コ/m3
	M1	9.91	350	2.14	75.1	0.875	30.9	0.283	10
1	M1.5	35	1,240	7.5	265	3.00	106	1	35.3
	M2	99.1	3,500	21.4	757	8.75	309	2.83	100
10	M2.5	350	12,400	75	2650	30.0	1060	10	353
	M3	991	35,000	214	7570	87.5	3090	28.3	1,000
100	M3.5			750	26500	300	10600	100	3,530
	M4			2140	75700	875	30900	283	10,000
1,000	M4.5							1,000	35,300	7	247
	M5							2,830	100,000	17.5	618
10,000	M5.5							10,000	353,000	70	2470
	M6							28,300	1,000,000	175	6180
100,000	M6.5							100,000	3,530,000	700	24700
	M7							283,000	10,000,000	1750	61800
	JIS B 9920
粒リュウ径ケイ		清浄セイジョウ度ドクラス　　個数コスウ/m3
		クラス1	クラス2	クラス3	クラス4	クラス5	クラス6	クラス7	クラス8
0.1μ		101	102	103	104	105	(106)	(107)	(108)
0.2μ		2	24	237	2,370	23,700
0.3μ			10	102	1,020	10,200	102,000
0.5μ			4	35	352	3,520	35,200	352,000	3,520,000
5.0μ						29	293	2,930	29,300
清浄セイジョウ度ドクラス粒リュウ径ケイ		01μ～0.3μ		01μ～0.5μ		01μ～	0.3μ～5.0μ
範囲ハンイ						5.0μ