クリーンルーム用フィルター
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クリーンルーム用フィルター
各種高性能フィルタ−
ULPAフィルター
(
Ultra low penetration air)
0.15μニテ99.9995%の補集効率があり245pa以下であること
他に超ULPAあり
HEPAフィルター
(
high efficiency particulate air)
0.3μニテ99.97%の補集効率があり245pa以下であること
他にスキャン品あり
(99.99%)
HEPAフィルター
超低圧損タイプ